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三菱化学工程部门介绍
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三菱化学工程部门介绍
ITF事业部
药液供给设备
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药液供给系统((CDS) Chemical Distribution System )
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Slurry供给系统((SDS)Slurry Distribution System)
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显影液稀释系统((DDS) Developer Dilution System)
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On-site 药液调和系统 ((OMS) On-site Mixing System)
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Photo Resist 集中供给系统((PRDS) Photo Resist Distribution
System)
回收、循环设备
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有机溶剂脱水回收系统((OSDS) Organic Solvent Dehydration
System)
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显影液Recycle系统((DRS) Developer Recycle System)
